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微加工表麵粗糙度測量

日期:2021-09-02 來源:币游国际

測量要求

掃描微加工件三維形貌,提取profile測量其底部凹槽表麵粗糙度

主要特點概覽
1.非接觸式測量,一體化設計
2.三維形貌掃描,多功能數據處理
3.適用於各種材料的精確測量
4.使用簡單,裝拆方便
5.掃描速度快,定位精度高
6.±0.5到±1μm重複精度保證
7.穩定性高,抗幹擾能力強

微加工表麵粗糙度測量_heydanbo.com
微加工表麵粗糙度測量_heydanbo.com
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測量結果

凹槽表麵粗糙度Ra約為4μm

解決現階段測量裝置存在的問題

1.對測量材料有一定要求
2.接觸式測量,對測量材料有損壞
3.測量範圍小,位置不確定,測定困難
4.測量速度慢、精度低,測量誤差大
5.結構複雜,成本高


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